Proszki i grube warstwy KNN do urządzeń MEMS: DE

Bezo¿owe materiäy piezoelektryczne zyskäy na znaczeniu w zwi¿zku z rosn¿c¿ trosk¿ o ¿rodowisko naturalne zwi¿zan¿ z obecno¿ci¿ o¿owiu i wynikaj¿cymi z tego przepisami, takimi jak dyrektywa w sprawie zu¿ytego sprz¿tu elektrycznego i elektronicznego (WEEE) oraz dyrektywa w sprawie ograniczenia stosowania niektórych niebezpiecznych substancji (RoHS). Chociä poczyniono znaczne post¿py w produkcji materiäów bez zawarto¿ci o¿owiu, potrzeba zintegrowania tych materiäów piezoelektrycznych nowej generacji z pod¿o¿ami w celu utworzenia funkcjonalnych mikrourz¿dze¿ spotkäa si¿ z mniejszym zainteresowaniem i rodzi szereg wyzwä. W odniesieniu do metody syntezy mieszanych tlenków w wysokiej temperaturze opracowano prost¿, ekonomiczn¿ i solidn¿ metod¿ syntezy wodorotlenków w niskiej temperaturze (MHS), wywodz¿c¿ si¿ z metody syntezy soli stopionych (MSS), w celu produkcji proszków o mäych ziarnach K0,5Na0,5NbO3 (KNN). Jest to metoda, która ¿atwo nadaje si¿ do zastosowania na skal¿ przemys¿ow¿. Do wytworzenia grubych warstw KNN na pod¿o¿ach krzemowych zastosowano technik¿ tworzenia pow¿ok z kompozytowego tuszu proszkowo-¿elowego. Charakterystyka wytworzonych warstw wykazäa, ¿e wykazuj¿ one wspó¿czynniki piezoelektryczne dla materiäu niedomieszkowanego w zakresie 30 pC/N.