Kalte Plasmen

Dieses Buch stellt eine BrA1/4cke zwischen den vielen theoretischen VerAffentlichungen auf dem Gebiet der Niederdruckplasmen und den phAnomenologisch orientierten A1/4ber Anwendungen vor allem zur Schichterzeugung und -modifikation dar. Der Autor hat insbesondere die theoretische Literatur A1/4ber Elektronen-Energie- Verteilungsfunktionen, Partikelstreuung in den Plasmaschilden sowie OberflAchenbeschichtung und -strukturierung aufgearbeitet und mit eigenen experimentellen Untersuchungen belegt. Dabei dient es der leichteren Lesbarkeit, daA im fortlaufenden Text nur relativ wenige Ableitungen gebracht und diese zwar zum tieferen VerstAndnis notwendigen, aber nicht immer einfachen GedankengAnge in AnhAnge aufgefA1/4hrt werden. Zahlreiche Anwendungsbeispiele von Plasmaprozessen illustrieren sowohl den geringen technischen Aufwand als auch die UmweltvertrAglichkeit der auf Glimmentladungen beruhenden Verfahren (u.a. Sputtern, Ionenstrahl- und IonenAtzen).